Method for manufacturing magnetoresistive effect element

자기 저항 효과 소자의 제조 방법

Abstract

자기 저항 효과 소자의 제조 공정에 있어서, 소자 분리 후의 측벽에 부착된 재부착막 중의 귀금속 원자를 효율적으로 제거하고, 재부착막에 기인하는 쇼트를 방지한 제조 방법을 제공한다. 소자 분리 후의 자기 저항 효과 소자 측벽에 형성된 재부착막에 대하여 Kr 가스 또는 Xe 가스의 플라스마를 사용하여 형성한 이온빔을 조사함으로써, 재부착막 중으로부터 귀금속 원자를 선택적으로 제거한다.

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Patent Citations (4)

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