有機金属化合物を製造する方法

Method of preparing organometallic compound

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To find a new method of preparing an ultra-pure organometallic compound for use as a CVD (chemical vapor deposition) precursor. SOLUTION: There are provided: a method of preparing an ultra-pure metal amidinate compound, including preparing an ultra-pure alkyl metal compound for processes such as chemical vapor deposition, using a microchannel device for synthesis in reaction of a metal halide solution and a lithium amidinate solution; and a method of preparing an alkyl metal compound of ultra-high purity, including purifying an organometallic compound containing impurities in the microchannel device to reduce the level of impurities with relative volatility (a) between 0.8<a<1.5 to a level useful in electronic materials applications. COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT
【課題】CVD(化学蒸着)前駆体として使用するための超純粋有機金属化合物を製造する新たな方法を見いだす。 【解決手段】金属ハロゲン化物溶液とリチウムアミジナート溶液との反応における合成のためにマイクロチャネルデバイスを使用して、化学蒸着のようなプロセスのための超純粋アルキル金属化合物を製造することを含む、超純粋金属アミジナート化合物を製造する方法や、不純物を含む有機金属化合物をマイクロチャネルデバイスにおいて精製して、0.8<a<1.5の相対揮発度(a)を有する不純物の量を電子材料用途において有用な量まで低減させることを含む、超高純度の金属アルキル化合物を製造する方法。 【選択図】なし

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    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    JP-2009035539-AFebruary 19, 2009Rohm & Haas Co, ローム アンド ハース カンパニーRohm And Haas Company有機金属化合物の調製方法
    JP-2011162542-AAugust 25, 2011Rohm & Haas Co, ローム アンド ハース カンパニーRohm And Haas Company有機金属化合物を製造する方法

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